半导体晶圆厂测量解决方案

半导体晶体管是一种具有特定电子特性的部件，可作为微芯片和现代电子产品（如手机、笔记本电脑等）的组件。由于这些元件体积小，需要精确的制造方法，因此有专门的设施来制造它们。这些设施由多个层面组成，包括空气处理器（AHU）和排气洗涤器（Scrubber）、高效空气过滤室（HEPA Room）、晶圆厂洁净室（Fab Cleanroom）和 厂务 区域（Subfab）。设施内的压力、流量和温度的实时控制对成品质量和良率至关重要。

半导体厂务区域又称为次洁净区，位于晶圆厂洁净室的正下方。这里有一系列辅助设备，如真空泵、减排系统、冷却器、气柜和其他设备，以保证工艺工具的高效运行。厂务区域内的设备与晶圆厂洁净室内的半导体生产设备相互连接；这些独立但相互连接的区域共同确保设备顺利运行。

压力：

压力表、开关和控制器用于监控厂务区域内洗涤器和减排系统之间的排气流量。

流量：